قسمت اول برنامه atlas در پکیج نرم افزار silvaco قرار دارد و با استفاده از آن می توان ادوات نیمه هادی مثل دیود و ترانزیستور و ادوات نوری مانند لیزر را شبیه سازی کرد و معادلات نیمه هادی حاکم بر آن ها را حل کرد. برای فراخوانی برنامه اطلس در محیط Deck build وارد می شویم و عبارت go atlas را در اولین سطر تایپ می کنیم. بعد از فراخوانی برنامه باید مش بندی قطعه نیمه هادی مورد نظر خود را تعریف کنیم. چون بعد از شبیه سازی ساختار قطعه نیمه هادی معادلات حاکم بر آن در این مش بندی ها و به روش های عددی حل می شوند لذا مش بندی از اهمیت زیادی برخوردار است. شروع مش بندی با دستور mesh ایجاد می شود. به مثال زیر توجه کنید go atlasmeshx.m loc=0.0 spacing=0.1x.m loc=5 spacing=1 y.m loc=0.0 spaci

قسمت دوم تعریف ناحیه ها و نوع ماده های مورد استفاده به مثال زیر توجه کنید: region num=1 y.min=0 y.max=5 x.min=0 x.max=5 silicon در این عبارت مشخص می شود که ما ناحیه (region) را تعریف می کنیم که شماره اولین ناحیه را num=1 در نظر می گیریم. مختصات ابتدا و انتها برای محور y از صفر تا پنج تعریف می شود و برای محور x نیز از یک تا پنج تعریف می شود. جنس ماده مورد نظر در انتها از نوع سیلیکون انتخاب می شود. در صورتی که بخواهیم دو ناحیه از دو ماده مختلف تعریف کنیم مثلا از y=0 تا y=3 از جنس سیلیکون و از y=3 تا y=5 از جنس پلی سیلیکون تعریف کنیم از عبارت زیر استفاده می کنیم region num=1 y.min=0 y.max=3 x.min=0 x.max=5 silicon region num=2 y.min=3 y.max=5 x.min=0 x.max=5 polysilicon